半導体・電機・電子

半導体・電機・電子業界における技術革新の背景には、高精度な切削加工部品が活躍しており、高い性能と高精度の寸法精度を有する樹脂素材が求められています。エンズィンガーは、半導体業界で広く使われるPEEK樹脂素材で高い寸法精度をご評価いただいております。ポリイミド樹脂からPP樹脂まで幅広い製品ポートフォリオと製品サイズバリエーションでお客様をサポートし続けます。

用途

半導体製造装置における
各種部品・治具
  • (シリコン)ウェハ・ハンドリング
  • ドライ・エッチング・プロセス
  • ウェット・エッチング・プロセス
  • プラズマ処理装置
  • CMPリテーナリング、ガイド、キャップ
  • 搬送トレイ・治具
  • 洗浄槽
半導体検査・アセンブリ工程における
各種部品・治具
  • テスト・ソケット
  • ハンダ・ボール・マウンタ
  • 工程治具、工程検査治具
  • 昇降ピン

帯電防止・導電性素材

グレード名 ベース樹脂 表面電気抵抗 Ω 体積固有抵抗 Ω・cm サイズ

TECAPEEK ELS nano black

PEEK 102〜104 103〜105 丸棒:10、20mm
板:20mm厚

TECAPEEK CF30 black

PEEK 103〜109 103〜109 丸棒:10〜50mm
板:6〜20mm厚

TECAPEEK PVX black

PEEK 104〜1011 107〜1012 丸棒:10〜100mm
板:10〜50mm厚

TECAFORM AH ELS black

POM-C 102〜104 103〜105 丸棒:30〜125mm
板:12〜80mm厚

TECAFORM AH SD natural

POM-C 109〜1011 109 丸棒:9.53〜76.2mm
板:6.35〜50.8mm厚

TECAMID 66 CF20 black

66ナイロン 104〜1010 103〜109 丸棒:60mm
板:40mm厚

豊富な素材バリエーション

グレード名 特徴 用途例 写真

切削加工用
PEEK樹脂素材

TECAPEEK natural

優れた切削性、寸法精度

工程治具

ウェハ・ハンドリング

切削加工用PEEK樹脂素材 TECAPEEK

回転成形法
PEEK樹脂素材

TECAPEEK SM natural

回転成形法チューブ
大口径に対応(最大:φ535mm)

ガイド

導電性PEEK樹脂素材 TECAPEEK ELS nano

導電性PEEK樹脂素材

TECAPEEK ELS nano black

安定した導電性
低発塵性、優れた切削加工性
10、20mmφ丸棒常時在庫

ハンダ・ボール・マウンタ

昇降ピン

HDD磁気ヘッド治具

導電性PEEK樹脂素材 TECAPEEK ELS nano

極低吸水性
PEEK樹脂素材

TECAPEEK CMF white

優れた切削加工性、寸法精度
吸水による寸法変化が極めて少ない

テスト・ソケット

精密コネクタ

極低吸水性PEEK樹脂素材 TECAPEEK CMF

テストソケット用
PEEK樹脂素材

TECAPEEK TS grey

優れた剛性と寸法安定性
良好な加工性
テスト・ソケット テストソケット用PEEK樹脂素材 TECAPEEK TS

CMPリング用
PEEK樹脂素材
PPS樹脂素材

TECAPEEK CMP natural
TECATRON CMP natural

8インチ用:250/190、235/195
12インチ用:360/290
優れた寸法精度、加工性

TECAPEEK CMP natural

TECATRON CMP natural

CMPリテーナリング

ガイドリング

CMPリング用PEEK樹脂素材 TECAPEEK Tube TECATRON Tube

切削加工用
ULTEM樹脂素材
(PEI)

TECAPEI natural
TECAPEI GF 30 natural

優れた耐熱性
高い寸法精度
優れた機械強度特性

TECAPEI natural

TECAPEI GF30 natural

テスト・ソケット

工程治具

30%炭素繊維強化PEEK生体適合性 PEEK XP-98

切削加工用
ポリイミド樹脂素材

TECASINT 2000
TECASINT 4000

優れた耐熱性・寸法強度
優れた機械特性
低吸水性、靱性、
耐酸化・プラズマ性

TECASINT 2000
TECASINT 4000

プラズマ処理装置ヘッド

ドライ・プロセス部品

テスト・ソケット

切削加工用ポリイミド樹脂素材 TECASINT 2000 TECASINT 4000

帯電防止性
ポリアセタール樹脂
(POM)

TECAFORM AH SD natural

優れた帯電防止性能
炭素繊維・導電性グラファイト不使用
良好な切削加工性

HDDガラス基板搬送器具

Fliction Strip

精密部品搬送治具

フリクション・ベアリング

スライド部品

ICチップコンテナ

 

導電性
ポリアセタール樹脂
(POM)

TECAFORM AH ELS black

優れた導電性
表面電気抵抗:102〜104
良好な切削加工性

精密部品搬送治具

Fliction Strip

フリクション・ベアリング

ギア

プラグ・ハウジング

ローラー

シール

 

切削加工用PVDF樹脂

TECAFLON PVDF natural

優れた耐薬品性
良好な切削加工性

ウェット・プロセス部品

洗浄キャリア

切削加工用PVDF樹脂 TECAFLON PVDF
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